Sie erhalten hochdetaillierte Informationen für Anwendungen, die von der Sub-Nanometer-Bildgebung und -Analyse in Forschung und Entwicklung bis hin zur schnellen und sicheren Probencharakterisierung und Prozesskontrolle in der Industrie reichen.

Beide Modelle sind mit einer hellen, hochstabilen Schottky-Feldemissionsquelle ausgestattet. Die Quelle ist mit einer Strahlverstärkung über den gesamten Bereich und einer elektrostatisch-magnetischen Hybridobjektivlinse kombiniert. So können Sie eine Sub-Nanometer-Auflösung ohne magnetische Probenwechselwirkung erreichen.

Außerdem erhalten Sie eine hervorragende laterale Auflösung, ohne dass eine Tischvorspannung erforderlich ist, wodurch die hochauflösende Bildgebung auf nicht flache Proben ausgedehnt wird. Erreichen Sie eine Auflösung von bis zu 0,6nm (SU8700) und 0,8nm (SU7000).

Der optionale Modus mit variablem Druck, auf den mit einem einfachen Mausklick zugegriffen werden kann und für den keine Aperturen erforderlich sind, hilft bei der Untersuchung nicht leitender Proben unter Hochstrom- und Hochspannungsbedingungen und macht eine Probenbeschichtung überflüssig.

Die EDS- und EBSD-Analyse mit extra breitem Feld oder mit mehreren Feldern wird durch ein optionales Paket unterstützt, das eine hochpräzise Scanfeld-Linearität und Orthogonalität unter 70° Tischneigung ermöglicht. So können Sie z. B. EBSD-Mosaike mit hervorragender Anpassungsqualität erstellen.

Erfassen Sie mehr Daten in kürzerer Zeit, um eine vollständige Analyse komplexer Proben zu gewährleisten. Ausgestattet mit fortschrittlichen Sekundär- und Rückstreuelektronendetektoren, unterstützen beide SEMs die gleichzeitige Erfassung von bis zu sechs Signaltypen und EDS-Elementinformationen bei einem Arbeitsabstand von nur 6mm. Dazu gehört auch die gleichzeitige Erfassung von SE/BSE-Signalen in der Säule zusammen mit optionalen STEM-Signalen.

Die optionale Live-Ansicht und die Signalverbesserung unterstützen Sie bei der Suche nach Merkmalen und der Bildvorbereitung, so dass Sie die Bildsignale zum Zeitpunkt der Aufnahme vollständig optimieren können.

Vereinfachen Sie sich wiederholende Aufgaben und verbessern Sie die Reproduzierbarkeit. Sie können sich auf Analysen mit hoher Priorität konzentrieren, denn die optionale Software EM Flow Creator ermöglicht die Konfiguration von Arbeitsabläufen per Drag-and-Drop. Automatisierte Aufgaben wie die Tischausrichtung, rezeptbasierte Bildgebung und auf Mustererkennung basierende Feinpositionierung sind verfügbar und sparen wertvolle Bedienerzeit.

Führen Sie mühelos Experimente mit Proben unterschiedlicher Größe durch:

• Das SU8700 ist auf Anwendungen mit hohem Durchsatz zugeschnitten und verfügt über eine 6-Zoll-Probenwechselkammer für eine schnelle Probenbeladung und die Handhabung von Proben mit einem Durchmesser von bis zu 150mm.
• Das SU7000 verfügt über eine größere Kammer mit exzentrischer Tischbewegung, die Proben mit einem Durchmesser von bis zu 200mm und einer Höhe von 80mm aufnehmen kann. Das SEM verfügt außerdem über 18 Anschlüsse, darunter zwei Kabelanschlüsse in der Kammertür, um optionales Zubehör anzuschließen.

Optimieren Sie Ihren Arbeitsablauf mit einer benutzerfreundlichen, anpassbaren Oberfläche, die die Navigation und Entscheidungsfindung verbessert. Beide Modelle bieten ein optionales Dual-Monitor-Setup mit anpassbaren Anzeigemodi.

Die Bediener können bis zu sechs Signale gleichzeitig betrachten, vergleichen und aufzeichnen, und das bei gleichem Arbeitsabstand. In der Kammer montierte Farbkameras erfassen Probenbilder und ermöglichen eine einfache und genaue Probennavigation durch einfaches Anklicken des gewünschten Punkts auf der Karte.

Kollisionen zwischen Objekt und Probe mit einem EDX-, BSE- oder STEM-Detektor sind unmöglich: Das Design der Kammer, das sowohl Software- als auch Hardware-Verriegelungen umfasst, macht den Betrieb auch für unerfahrene Benutzer sicher.