SU8600

Hitachis hochbrillante Kaltfeld-Emissionsquelle liefert selbst bei sehr niedrigen Spannungen Bilder mit sehr hoher Auflösung.

Durch die Verwendung des neuen Out-Column Crystal Type BSED (OCD)* konnte die Bildaufnahmezeit auf unter EINE SEKUNDE verkürzt werden, wobei die untere Verbindungsschicht und die Fin-FET-Struktur des SRAM deutlich sichtbar sind.

Mit der Softwareoption "EM Flow Creator" können Benutzer wiederholbare REM-Betriebsabläufe konfigurieren.

Verschiedene SEM-Funktionen können im EM Flow Creator-Fenster per Drag-and-Drop zusammengestellt und dann als Rezept für die spätere Verwendung gespeichert werden.
Sobald ein Rezept konfiguriert ist, kann die automatische Datenerfassung unter den festgelegten Bedingungen mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit durchgeführt werden.

Die Doppelmonitor-Konfiguration unterstützt einen flexiblen und hocheffizienten Arbeitsbereich. Sie können 6 Signale gleichzeitig anzeigen und speichern, um mehr Informationen in kürzerer Zeit zu erfassen.

1, 2, 4 oder 6 Signale, einschließlich des Kammerscopes(*) oder SEM MAP, können gleichzeitig auf einem einzigen Monitor angezeigt werden. Durch Hinzufügen eines zweiten Bildschirms unterstützt die Konfiguration mit zwei Monitoren eine höhere Produktivität sowie einen erweiterten Arbeitsbereich und ermöglicht die Anpassung des Bedienfelds mit Untermenüs an beliebiger Stelle auf beiden Bildschirmen.