
SU8600
Feld-Emissions-SEM
Ultrahochauflösendes FE-SEM mit Kaltfeldemitter
Warum Der SU8600
Das SU8600 läutet eine neue Ära der ultrahochauflösenden Kaltfeld-Emissions-Rasterelektronenmikroskope in der langjährigen Hitachi EM-Produktpalette ein. Diese revolutionäre CFE-SEM-Plattform bietet vielseitige Bildgebung, Automatisierung, erhöhte Systemstabilität, effiziente Arbeitsabläufe für Anwender aller Erfahrungsstufen und vieles mehr.
Eigenschaften
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Ultrahochauflösend
Hitachis hochbrillante Kaltfeld-Emissionsquelle liefert selbst bei sehr niedrigen Spannungen Bilder mit sehr hoher Auflösung.
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Schnelles BSE-Imaging: Neue Out-Column Crystal Type BSED (OCD)
Durch die Verwendung des neuen Out-Column Crystal Type BSED (OCD)* konnte die Bildaufnahmezeit auf unter EINE SEKUNDE verkürzt werden, wobei die untere Verbindungsschicht und die Fin-FET-Struktur des SRAM deutlich sichtbar sind.
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Verbesserte Benutzerfreundlichkeit mit fortschrittlicher Automatisierung
Mit der Softwareoption "EM Flow Creator" können Benutzer wiederholbare REM-Betriebsabläufe konfigurieren.
Verschiedene SEM-Funktionen können im EM Flow Creator-Fenster per Drag-and-Drop zusammengestellt und dann als Rezept für die spätere Verwendung gespeichert werden.
Sobald ein Rezept konfiguriert ist, kann die automatische Datenerfassung unter den festgelegten Bedingungen mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit durchgeführt werden. -
Flexible Schnittstelle
Die Doppelmonitor-Konfiguration unterstützt einen flexiblen und hocheffizienten Arbeitsbereich. Sie können 6 Signale gleichzeitig anzeigen und speichern, um mehr Informationen in kürzerer Zeit zu erfassen.
1, 2, 4 oder 6 Signale, einschließlich des Kammerscopes(*) oder SEM MAP, können gleichzeitig auf einem einzigen Monitor angezeigt werden. Durch Hinzufügen eines zweiten Bildschirms unterstützt die Konfiguration mit zwei Monitoren eine höhere Produktivität sowie einen erweiterten Arbeitsbereich und ermöglicht die Anpassung des Bedienfelds mit Untermenüs an beliebiger Stelle auf beiden Bildschirmen.
Spezifikationen
Elektronen-Optik | |
Sekundärelektronen Bildauflösung | 0.6 nm @ 15 kV, 0.7nm @ 1kV |
Vergrößerung | 20 to 2,000,000x |
Beschleunigungsspannung | 0.5 to 30 kV |
Landeschlussspannung | 0,01 bis 20 kV |
Probentisch | |
Tischsteuerung | 5-Achsen-Motorantrieb |
X/Y/Z Bereich | 0–110 mm / 1.5–40 mm |
T | -5° to 70° |
R | 360° |
Standard-Detektoren | |
Standard-Detektoren | Optionaler Detektor |
Oberer Detektor (UD) | Top Detektor (TD) In Spalten Mitteldetektor (IMD) Fotodiode BSE (PD-BSE) Out-Column Kristall-BSED (OCD) Hellfeld TE (BFSTEM) Dunkelfeld TE (DFSTEM) Kathodolumineszenz-Detektor (CLD) EDX, EBSD |
Untere Detector (LD) | |
Optionales Zubehör | EDX and EBSD |
Galerie der Anwendungen


Selbstorganisierende magnetische Eisenoxid-Nanopartikel


Ultrastruktur von Arabidopsis


Querschnittsbilder von 3D-NAND
Sprechen Sie mit unseren Experten
Wenn Sie Hilfe bei der Auswahl des besten REM für Ihre Anforderungen benötigen oder wenn Sie Ratschläge zur Optimierung Ihrer Mikroskopie suchen, stehen Ihnen unsere Experten gerne zur Verfügung. Kontaktieren Sie uns noch heute, um zu erfahren, wie die Hitachi SU8600 die Möglichkeiten Ihres Labors erweitern kann.