.png?width=1084&height=932&name=Untitled%20design%20(4).png "Unbenannter Entwurf (4)")
Ultrahochauflösend
Hitachis hochbrillante Kaltfeld-Emissionsquelle liefert selbst bei sehr niedrigen Spannungen Bilder mit sehr hoher Auflösung.
Abbildung: Links: Zeolithpartikel vom Typ RHO bei niedriger kV. Um die feine Stufenstruktur auf der Oberfläche zu erkennen, wurde das Bild bei einer Landespannung von 0,8 kV aufgenommen. Dadurch wird die sehr feine Struktur der Oberflächenstufen deutlich sichtbar (Bild rechts). Probe mit freundlicher Genehmigung von Dr. Yoshihiro Kamimura, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Japan
Ein intelligentes Detektionssystem für die BSE-Bildgebung im Niederspannungsbereich
Querschnittsbild eines 3D-NAND; dieOxidschicht und die Nitridschicht des Kondensators sind dank der BSE-Erkennungsfunktion im Bild leicht zu erkennen.
Bild: Querschnitt eines 3D-NANDs (Beschleunigungsspannung: 1,5 kV)
Schnelles BSE-Imaging: Neue Out-Column Crystal Type BSED (OCD)
Durch die Verwendung des neuen Out-Column Crystal Type BSED (OCD)* konnte die Bildaufnahmezeit auf unter EINE SEKUNDE verkürzt werden, wobei die untere Verbindungsschicht und die Fin-FET-Struktur des SRAM deutlich sichtbar sind.
*Option
Bild: Interconnect der unteren Schicht von SRAM im 5-nm-Prozess (Beschleunigungsspannung: 30 kV, Aufnahmezeit <1 Sekunde)
Verbesserte Benutzerfreundlichkeit mit fortschrittlicher Automatisierung
Mit der Softwareoption "EM Flow Creator" können Benutzer wiederholbare REM-Betriebsabläufe konfigurieren.
Verschiedene SEM-Funktionen können im EM Flow Creator-Fenster per Drag-and-Drop zusammengestellt und dann als Rezept für die spätere Verwendung gespeichert werden.
Sobald ein Rezept konfiguriert ist, kann die automatische Datenerfassung unter den festgelegten Bedingungen mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit durchgeführt werden.
Flexible Schnittstelle
Die Doppelmonitor-Konfiguration unterstützt einen flexiblen und hocheffizienten Arbeitsbereich. Sie können 6 Signale gleichzeitig anzeigen und speichern, um mehr Informationen in kürzerer Zeit zu erfassen.
1, 2, 4 oder 6 Signale, einschließlich des Kammerscopes(*) oder SEM MAP, können gleichzeitig auf einem einzigen Monitor angezeigt werden. Durch Hinzufügen eines zweiten Bildschirms unterstützt die Konfiguration mit zwei Monitoren eine höhere Produktivität sowie einen erweiterten Arbeitsbereich und ermöglicht die Anpassung des Bedienfelds mit Untermenüs an beliebiger Stelle auf beiden Bildschirmen.
